EcoPeeler™ R&D Equipment
EcoPeeler™の研究・開発・評価環境の概略です。
Test Manufacturing Line
EcoPeeler™の強みは、研究・開発から製造、品質保証まで非常に連携のとれた体制をとっていることです。これは、小さな製造メーカとして最高水準のものづくりを安定して行う重要な点であるとともに、最大の強みであると考えています。
開発から製造までの移管をシームレスに行うため、各生産ラインに付帯させた研究・開発用のパイロットラインを持っています。このラインと生産ラインとの相関性がとれているため、開発品を安定した品質のまま生産に移行することができます。
このパイロットラインを用いた試作試験では、研究・開発、製造、品質保証がチームとなって徹底した生産性、安全性、安定性、作業性の検証を実施します。このように品質、安全性に徹底した管理を行っているため、製品品質のクレームは過去15年一度もありません。
High Level Clean Room
EcoPeeler™の研究・開発、品質保証では、専用のクリーンルームで試験、検査を実施しています。
ウェーハを取り扱うクリーンルームでは、管理レベルをクラス10のクリーンルーム内にクラス1のクリーンブース、クリーンドラフトを設置して試験を実施します。
製品中の金属不純物の定量では、クラス1のクリーンドラフト内で測定検体の調整を行い、クラス100の環境に設置した装置で定量を実施しています。 また製品の製造、充填、サンプリング、検査も管理されたクリーンルーム、クリーンブース内で実施しており、製品に影響するすべての部分でコンタミネーションコントロールを徹底して実施しています。
Evaluation Equipment
EcoPeeler™の研究・開発設備は全て専用の設備として独占して自由に使用することができるため、装置待ちなどの無駄な時間が生じません。
クラス10のクリーンルームには、クラス1のクリーンブース内にチップから450mmウェーハまでを同一チャンバーで処理できるオリジナルの枚葉洗浄装置、サーフスキャンを設置しています。また、同クリーンルーム内にはプラズマアッシャー、プラズマエッチャー、スピンコーターなどの研究用のプロセス装置も数多く設置しています。
これらの装置で適応評価をおこない、より良いプロセス条件、プロセス提案をさせていただきます。
High Resolution Analysis
EcoPeeler™ の分析、観察装置は一般的な定性・定量装置に加え、物質の膜厚測定用として全反射型膜厚計、エネルギー分散型蛍光X線、分光エリプソメータを所有しており、ミクロンレベルからオングストロームレベルまでの膜厚を測定することができます。
各材料のI-V、C-V特性を計測するための半導体アナライザ、電気化学特性を調べるための電気化学アナライザを所有しており、in-situ、ex-situでの特性評価を行うことができます。
また、高分解能電界放出型走査電子顕微鏡(FE-SEM)、モノクロX線光電子分光装置（XPS）など高水準、高分解能の設備を専用に保有しており、高水準での薬液の適応評価を実施することができます。