□ 炭素材料：除去・剥離

対象材料	:	Graphen、Carbon Nano Tube、Graphite、Pyrolyphite、Carbon cluster C60 (C60 Fullerene)、Carbon cluster C70 (C70 Fullerene)、Diamond
主な機能	:	除去・剥離
付加機能	:	周辺材料とのエッチング選択性
対応薬液	:	EcoPeeler™ KF5000 Cleanシリーズ   EcoPeeler™ SN-30シリーズ

□ 炭素材料：前洗浄

対象材料	:	Graphen、Carbon Nano Tube、Graphite、Pyrolyphite、Carbon cluster C60 (C60 Fullerene)、Carbon cluster C70 (C70 Fullerene)、Diamond、Photo Resist、NIL resin、反射防止膜
主な機能	:	成膜前洗浄
付加機能	:	異物、汚染除去 周辺材料とのエッチング選択性 ダメージレス洗浄 アッシング前洗浄
対応薬液	:	EcoPeeler™ KF5000シリーズ   EcoPeeler™ SE-700シリーズ

□ 有機材料：アッシング前洗浄

対象材料	:	NIL Resis、Photo Resist、反射防止膜
主な機能	:	アッシング前の残渣の低減
付加機能	:	周辺材料へのダメージの調整
対応薬液	:	EcoPeeler™ KF5000   EcoPeeler™ KF6000 Cleanシリーズ   EcoPeeler™ NZMシリーズ