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| 対象材料 | : | ルテニウム、銅 |
| 主な機能 | : |
銅配線のエッチング・アッシング残渣除去 ガルバニック腐食抑制機能 溶存酸素酸化防止機能 周辺材料へのダメージレス |
| 付加機能 | : |
k値変動なし 異物・汚染除去 ダメージレス洗浄 アッシング前洗浄 |
| 対応薬液 | : |
EcoPeeler™ KF6000 LSシリーズ
EcoPeeler™ KF6000 CTシリーズ |
| 対象材料 | : | ルテニウム |
| 主な機能 | : | 表面酸化層の除去 |
| 付加機能 | : |
異物・汚染除去 周辺材料のエッチング選択性 ダメージレス洗浄 アッシング前洗浄 |
| 対応薬液 | : |
EcoPeeler™ SE-700シリーズ
EcoPeeler™ SE-800シリーズ EcoPeeler™ NZMシリーズ EcoPeeler™ SN-300シリーズ |