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対象材料 | : | テルル |
主な機能 | : | 表面酸化層の除去 |
付加機能 | : |
異物・汚染除去 ダメージレス洗浄 アッシング前洗浄 |
対応薬液 | : |
EcoPeeler™ KF5000シリーズ
EcoPeeler™ KF6000 Cleanシリーズ |
対象材料 | : | テルル |
主な機能 | : | 表面酸化層の除去 |
付加機能 | : |
異物・汚染除去 ダメージレス洗浄 アッシング前洗浄 |
対応薬液 | : |
EcoPeeler™ KF5000シリーズ
EcoPeeler™ KF6000 Cleanシリーズ |