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| 対象材料 | : | Si、Poly-Si、Doped-Si、α-Si |
| 主な機能 | : |
エッチング・アッシング残渣除去 周辺材料とのエッチング選択性 |
| 付加機能 | : |
異物・汚染除去 ダメージレス洗浄 アッシング前洗浄 |
| 対応薬液 | : |
EcoPeeler™ KF6000 Cleanシリーズ
EcoPeeler™ SE-700シリーズ EcoPeeler™ SE-800シリーズ EcoPeeler™ SN-300シリーズ EcoPeeler™ NZMシリーズ |
| 対象材料 | : | Si、Poly-Si、Doped-Si、α-Si |
| 主な機能 | : | 微細領域の低速選択性Siエッチング |
| 付加機能 | : |
周辺材料へのエッチング選択性 異物・汚染除去 アッシンング前洗浄 |
| 対応薬液 | : | EcoPeeler™ SN-05シリーズ |