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| 対象材料 | : | アルシリカッパー、アルミニウム、アルミニウム合金 |
| 主な機能 | : | ドライエッチング、アッシング後の残渣除去 |
| 付加機能 | : | Wプラグ抜けの防止、W残渣の除去 |
| 対応薬液 | : |
EcoPeeler™ KF1000シリーズ
EcoPeeler™ KF5000シリーズ |
| 対象材料 | : | アルシリカッパー、アルミニウム、アルミニウム合金 |
| 主な機能 | : | ドライエッチング後の洗浄 |
| 付加機能 | : |
表面状態の改質、異物・汚染除去、他の金属酸化物の除去 ダメージレス洗浄 アッシング前洗浄 タングステン酸化物、モリブデン酸化物の除去 |
| 対応薬液 | : |
EcoPeeler™ KF6000 Cleanシリーズ
EcoPeeler™ NZMシリーズ |
| 対象材料 | : | アルシリカッパー、アルミニウム、アルミニウム合金 |
| 主な機能 | : | アルミニウム、アルミ合金、SiO2のウェットエッチング |
| 付加機能 | : | SiN、TiN、Siに対してダメージレス |
| 対応薬液 | : | EcoPeeler™ SN-30シリーズ |