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| 対象材料 | : | ベリリウム銅、Cu、SiC、SiN、SiON、Low-k、Porous Low-k、ULK、ELK |
| 主な機能 | : | Cu、Cu合金表面の残渣除去 |
| 付加機能 | : |
周辺材料へのダメージレス 溶存酸素酸化防止機能 ガルバニック腐食抑制機能 Co配線、キャップ層ダメージレス |
| 対応薬液 | : |
EcoPeeler™ KF6000 LSシリーズ
EcoPeeler™ KF6000 CTシリーズ |
| 対象材料 | : | ベリリウム銅、銅、銅含有合金 |
| 主な機能 | : | 銅、銅含有合金表面の酸化保護層の形成 |
| 付加機能 | : | 樹脂密着性の向上 |
| 対応薬液 | : | EcoPeeler™ CLシリーズ |