□ 真鍮：残渣除去剤

対象材料	:	真鍮、Cu、SiC、SiN、SiON、Low-k、Porous Low-k、ULK、ELK
主な機能	:	Cu、Cu合金表面の残渣除去
付加機能	:	周辺材料へのダメージレス 溶存酸素酸化防止機能 ガルバニック腐食抑制機能 Co配線、キャップ層ダメージレス
対応薬液	:	EcoPeeler™ KF6000 LSシリーズ   EcoPeeler™ KF6000 CTシリーズ

□ 真鍮：表面保護

対象材料	:	真鍮、銅、銅含有合金
主な機能	:	銅、銅合金表面の酸化保護層の形成
付加機能	:	樹脂密着性の向上
対応薬液	:	EcoPeeler™ CLシリーズ