□ La₂O₃-Mo：残渣除去

対象材料	:	酸化ランタンモリブデン（La2O3-Mo）
主な機能	:	酸化層の除去、エッチング・アッシング・研磨残渣除去
付加機能	:	周辺材料とのエッチング選択性 ダメージレス洗浄 異物・汚染除去
対応薬液	:	EcoPeeler™ NZMシリーズ   EcoPeeler™ SN-300シリーズ