□ CoSi：コンタクト洗浄

対象材料	:	CoSi、NiSi
主な機能	:	コンタクトホール底の残渣除去 エッチング・アッシング残渣除去
付加機能	:	ダメージレス洗浄 周辺材料にダメージレス アッシング前洗浄
対応薬液	:	EcoPeeler™ KF3000シリーズ   EcoPeeler™ KF5000シリーズ