□ CoW：Cu配線用除去剤

対象材料	:	CoW、CoWP、CoWB、Co、Cu、SiC、SiN、SiON、Low-k、Porous Low-k、ULK、ELK
主な機能	:	Cu表面の残渣除去 Co表面の残渣除去 Co、CoWダメージレス Cuダメージレス
付加機能	:	k値変動なし 周辺材料へのダメージレス 溶存酸素酸化防止機能 ガルバニック腐食抑制機能
対応薬液	:	EcoPeeler™ KF6000 CTシリーズ

□ CoW：表面保護

対象材料	:	CoW、CoWP、CoWB、コバルト、コバルト合金、銅、銅含有合金
主な機能	:	CoW、コバルト、コバルト合金表面の酸化保護層の形成           銅表面の酸化保護層の形成
付加機能	:	樹脂密着性の向上
対応薬液	:	EcoPeeler™ CLシリーズ