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| 対象材料 | : | ITO (酸化インジウムスズ) |
| 主な機能 | : | 基板の洗浄 |
| 付加機能 | : |
異物・汚染除去 ダメージレス洗浄 アッシング前洗浄 |
| 対応薬液 | : |
EcoPeeler™ KF5000シリーズ
EcoPeeler™ KF6000 Cleanシリーズ |
| 対象材料 | : |
ITO(酸化インジウムスズ) Al、Al合金、W、Mo |
| 主な機能 | : |
Al配線のエッチング・アッシング残渣除去 |
| 付加機能 | : |
Wプラグ抜け防止機能 Moエッチング残渣除去 ダメージレス洗浄 アッシング前洗浄 W埋め込み、CMP、コンタクト洗浄 |
| 対応薬液 | : |
EcoPeeler™ KF1000シリーズ
EcoPeeler™ KF5000シリーズ EcoPeeler™ KF6000 Cleanシリーズ EcoPeeler™ NZMシリーズ |
| 対象材料 | : |
ITO（酸化インジウムスズ）：基板 W、Al、Mo、Cr、Co等 |
| 主な機能 | : |
金属表面の酸化膜除去 エッチング・アッシング・研磨残渣除去 |
| 付加機能 | : |
ダメージレス洗浄 アッシング前洗浄 周辺材料とのエッチング選択性 周辺材料へのダメージレス 異物・汚染除去 |
| 対応薬液 | : |
EcoPeeler™ KF6000 Cleanシリーズ
EcoPeeler™ SE-700シリーズ EcoPeeler™ SE-800シリーズ EcoPeeler™ SN-300シリーズ EcoPeeler™ NZMシリーズ |