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対象材料 | : | V2O5 |
主な機能 | : | 表面残渣の除去 |
付加機能 | : |
ダメージレス洗浄 アッシング前洗浄 異物・汚染除去 周辺材料のエッチング選択性 |
対応薬液 | : |
EcoPeeler™ SN-300シリーズ
EcoPeeler™ NZMシリーズ |
対象材料 | : | V2O5 |
主な機能 | : | 表面残渣の除去 |
付加機能 | : |
ダメージレス洗浄 アッシング前洗浄 異物・汚染除去 周辺材料のエッチング選択性 |
対応薬液 | : |
EcoPeeler™ SN-300シリーズ
EcoPeeler™ NZMシリーズ |