□ Ga₂O₃：残渣除去

対象材料	:	Ga2O3 (酸化ガリウム)
主な機能	:	エッチング・アッシング・研磨残渣除去
付加機能	:	周辺材料とのエッチング選択性 ノーダメージ洗浄 アッシング前洗浄 異物・汚染除去
対応薬液	:	EcoPeeler™ KF5000 Cleanシリーズ   EcoPeeler™ KF6000 Cleanシリーズ