Loading...
| 対象材料 | : | RuO2 (酸化ルテニウム) |
| 主な機能 | : | エッチング・アッシング・研磨残渣除去 |
| 付加機能 | : |
周辺材料とのエッチング選択性 ノーダメージ洗浄 アッシング前洗浄 異物・汚染除去 装置・配管のスケール除去、装置部品の金属汚染の除去 |
| 対応薬液 | : |
EcoPeeler™ SE-700シリーズ
EcoPeeler™ SE-800シリーズ EcoPeeler™ NZMシリーズ EcoPeeler™ SN-300シリーズ |