□ La₂O₃：残渣除去

対象材料	:	La2O3 (酸化ランタン)
主な機能	:	エッチング・アッシング・研磨残渣除去
付加機能	:	周辺材料とのエッチング選択性 ノーダメージ洗浄 アッシング前洗浄 異物・汚染除去 装置・配管のスケール除去、装置部品の金属汚染の除去
対応薬液	:	EcoPeeler™ KF4000シリーズ