Loading...
| 対象材料 | : | CeO2 (酸化セリウム) |
| 主な機能 | : | 研磨残渣除去 |
| 付加機能 | : |
周辺材料とのエッチング選択性 異物・汚染除去 装置・配管のスケール除去、装置部品の金属汚染の除去 |
| 対応薬液 | : |
EcoPeeler™ KF4000シリーズ
EcoPeeler™ SE-700シリーズ EcoPeeler™ SE-800シリーズ |