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| 対象材料 | : | 酸化テルビウム (Tb4O7、Tb2O3) |
| 主な機能 | : | エッチング・アッシング・研磨残渣除去 |
| 付加機能 | : |
周辺材料とのエッチング選択性 ノーダメージ洗浄 アッシング前洗浄 異物・汚染除去 装置・配管のスケール除去、装置部品の金属汚染の除去 |
| 対応薬液 | : |
EcoPeeler™ KF5000シリーズ
EcoPeeler™ KF6000 Cleanシリーズ |