□ SiCOH：Cu配線用除去剤

対象材料	:	SiCOH、SiC、Cu、SiC、SiN、SiON、Low-k、Porous Low-k、ULK、ELK
主な機能	:	Cu表面の残渣除去
付加機能	:	k値変動なし 周辺材料へのダメージレス 溶存酸素酸化防止機能 ガルバニック腐食抑制機能 Co配線、キャップ層ダメージレス
対応薬液	:	EcoPeeler™ KF6000 LSシリーズ   EcoPeeler™ KF6000 CTシリーズ