□ TiN：Al配線用除去剤

対象材料	:	TiN (窒化チタン)、Ti Al、Al合金、W、Mo
主な機能	:	Al配線のエッチング・アッシング残渣除去
付加機能	:	Wプラグ抜け防止機能 Moエッチング残渣除去 ダメージレス洗浄 アッシング前洗浄 W埋め込み、CMP、コンタクト洗浄
対応薬液	:	EcoPeeler™ KF1000シリーズ   EcoPeeler™ KF5000シリーズ   EcoPeeler™ KF6000 Cleanシリーズ   EcoPeeler™ NZMシリーズ

□ TiN：Cu配線用除去剤

対象材料	:	TiN、Ti、Ta、TaN、Ru、Mn、Co、SiC、Cu、SiC、SiN、SiON、Low-k、Porous Low-k、ULK、ELK
主な機能	:	Cu表面の残渣除去
付加機能	:	k値変動なし 周辺材料へのダメージレス 溶存酸素酸化防止機能 ガルバニック腐食抑制機能 Co配線、キャップ層ダメージレス
対応薬液	:	EcoPeeler™ KF6000 LSシリーズ   EcoPeeler™ KF6000 CTシリーズ

□ TiN：ゲート洗浄

対象材料	:	TiN (窒化チタン)
主な機能	:	ゲート洗浄 研磨残渣除去 異物・残渣除去
付加機能	:	TiNにダメージレス 周辺材料とのエッチング選択性 ダメージレス洗浄 アッシングレス洗浄 異物・汚染除去
対応薬液	:	EcoPeeler™ SE-700シリーズ   EcoPeeler™ SE-800シリーズ   EcoPeeler™ KF5000 Cleanシリーズ   EcoPeeler™ KF6000 Cleanシリーズ

□ TiN：Wet etching

対象材料	:	SiO2、相関絶縁膜、Al、Al合金（エッチング対象） TiN、Ti、Ta、TaN、SiN、SiON（保護対象）
主な機能	:	TiN、SiNダメージレスアルミニウム、アルミ合金、SiO2のウェットエッチング
付加機能	:	SiN、TiN、Ti、Ta、TaN、Siに対してダメージレス
対応薬液	:	EcoPeeler™ SN-30シリーズ