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| 対象材料 | : | ZrN (窒化ジルコニウム) |
| 主な機能 | : |
エッチング・アッシング・研磨残渣除去 異物・残渣除去 |
| 付加機能 | : |
装置・配管内のスケール除去 装置部品の金属不純物の除去 |
| 対応薬液 | : |
EcoPeeler™ SE-700シリーズ
EcoPeeler™ SE-800シリーズ EcoPeeler™ KF6000 Cleanシリーズ EcoPeeler™ KF1000シリーズ |