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| 対象材料 | : | TaN (窒化タンタル) |
| 主な機能 | : | エッチング・アッシング残渣除去 |
| 付加機能 | : |
異物・汚染除去 他の周辺材料とのエッチング選択性 ダメージレス洗浄 アッシング前洗浄 |
| 対応薬液 | : |
EcoPeeler™ SE-700シリーズ
EcoPeeler™ SE-800シリーズ EcoPeeler™ SN-300シリーズ |
| 対象材料 | : | TaN、Ta、TiN、Ti、Ru、Mn、Co、SiC、Cu、SiC、SiN、SiON、Low-k、Porous Low-k、ULK、ELK |
| 主な機能 | : | Cu表面の残渣除去 |
| 付加機能 | : |
k値変動なし 周辺材料へのダメージレス 溶存酸素酸化防止機能 ガルバニック腐食抑制機能 Co配線、キャップ層ダメージレス |
| 対応薬液 | : |
EcoPeeler™ KF6000 LSシリーズ
EcoPeeler™ KF6000 CTシリーズ |
| 対象材料 | : | TaN (窒化タンタル) |
| 主な機能 | : |
ゲート洗浄 研磨残渣除去 異物・残渣除去 |
| 付加機能 | : |
TaN、TiNにダメージレス 周辺材料とのエッチング選択性 ダメージレス洗浄 アッシングレス洗浄 異物・汚染除去 |
| 対応薬液 | : |
EcoPeeler™ SE-700シリーズ
EcoPeeler™ SE-800シリーズ EcoPeeler™ KF5000 Cleanシリーズ EcoPeeler™ KF6000 Cleanシリーズ |