□ Poly-Si：ゲート洗浄

対象材料	:	Poly-Si (ポリシリコン)
主な機能	:	ゲート洗浄 研磨残渣除去 異物・残渣除去
付加機能	:	Si、WN、TaN、TiNにダメージレス 周辺材料とのエッチング選択性 ダメージレス洗浄 アッシングレス洗浄 異物・汚染除去
対応薬液	:	EcoPeeler™ SN-300シリーズ   EcoPeeler™ SE-700シリーズ   EcoPeeler™ SE-800シリーズ   EcoPeeler™ KF6000 Cleanシリーズ   EcoPeeler™ NZMシリーズ

□ Poly-Si：リセスエッチング剤

対象材料	:	Poly-Si、Doped-Si、α-Si、Si (エッチング対象) WN、W、WSi、SiN、SiON、SiO2 (保護対象)
主な機能	:	微細領域の低速選択性Siエッチング
付加機能	:	周辺材料へのエッチング選択性 W化合物に対するダメージレス 異物・汚染除去 アッシンング前洗浄
対応薬液	:	EcoPeeler™ SN-05シリーズ