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| 対象材料 | : | Si3N4 (窒化ケイ素)、P-SiN、ALD-SiN、SiON |
| 主な機能 | : |
ゲート洗浄 研磨残渣除去 異物・残渣除去 |
| 付加機能 | : |
Si、WN、TaN、TiNにダメージレス 周辺材料とのエッチング選択性 ダメージレス洗浄 アッシングレス洗浄 異物・汚染除去 |
| 対応薬液 | : | EcoPeeler™ KF6000 Cleanシリーズ |
| 対象材料 | : |
α-Si、Doped-Si、Poly-Si、Si (エッチング対象) SiN、ALD-SiN、P-SiN、WN、W、WSi、SiON、SiO2 (保護対象) |
| 主な機能 | : | 微細領域の低速選択性Siエッチング |
| 付加機能 | : |
周辺材料へのエッチング選択性 SiN、SiO2に対してダメージレス W化合物に対するダメージレス 異物・汚染除去 アッシンング前洗浄 |
| 対応薬液 | : | EcoPeeler™ SN-05シリーズ |
| 対象材料 | : | Si3N4、P-SiN、ALD-SiN、SiON等 |
| 主な機能 | : |
SiNダメージレス洗浄 エッチング・アッシング・研磨残渣除去 異物・汚染除去 |
| 付加機能 | : |
周辺材料へのエッチング選択性 周辺材料に対するダメージレス洗浄 アッシング前洗浄 |
| 対応薬液 | : |
EcoPeeler™ SN-05シリーズ
EcoPeeler™ SN-30シリーズ EcoPeeler™ SE-700シリーズ EcoPeeler™ SE-800シリーズ |