Loading...
| 対象材料 | : | SiON、Si3N4、P-SiN、ALD-SiN等 |
| 主な機能 | : |
SiON、SiNダメージレス洗浄 エッチング・アッシング・研磨残渣除去 異物・汚染除去 |
| 付加機能 | : |
周辺材料へのエッチング選択性 周辺材料に対するダメージレス洗浄 アッシング前洗浄 |
| 対応薬液 | : |
EcoPeeler™ SN-05シリーズ
EcoPeeler™ SN-30シリーズ EcoPeeler™ SE-700シリーズ EcoPeeler™ SE-800シリーズ |