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対象材料 | : | Photo Resist |
主な機能 | : | エッチング・アッシング残渣除去 |
付加機能 | : |
アッシング前洗浄 ダメージレス洗浄 周辺材料へのエッチング選択性 |
対応薬液 | : |
EcoPeeler™ KF5000シリーズ
EcoPeeler™ NZMシリーズ EcoPeeler™ KF1000シリーズ EcoPeeler™ KF6000 Cleanシリーズ |