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| 対象材料 | : | MoS2 (硫化モリブデン) |
| 主な機能 | : |
基板洗浄 研磨残渣除去 異物・残渣除去 |
| 付加機能 | : | ー |
| 対応薬液 | : |
EcoPeeler™ SE-700シリーズ
EcoPeeler™ SE-800シリーズ EcoPeeler™ KF5000 Cleanシリーズ EcoPeeler™ KF6000 Cleanシリーズ |
| 対象材料 | : |
MoS2 (硫化モリブデン) Mo、MoO3 |
| 主な機能 | : |
酸化層除去 エッチング・アッシング残渣除去 Moエッチング・アッシング残渣除去 |
| 付加機能 | : |
ダメージレス洗浄 アッシング前洗浄 周辺材料へのエッチング選択性 装置・配管内スケール除去 装置部品金属不純物除去 |
| 対応薬液 | : | EcoPeeler™ NZMシリーズ |
| 対象材料 | : | MoS2 (硫化モリブデン) |
| 主な機能 | : |
MoS2層の剥離 |
| 付加機能 | : |
ダメージレス洗浄 周辺材料へのエッチング選択性 金属不純物除去 有機材料に対してダメージレス |
| 対応薬液 | : |
EcoPeeler™ NZMシリーズ
EcoPeeler™ KF5000 Cleanシリーズ |