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| 対象材料 | : | Mo2N (窒化モリブデン) |
| 主な機能 | : |
表面酸化層の除去 エッチング・アッシング・研磨残渣除去 |
| 付加機能 | : |
ダメージレス洗浄 アッシング前洗浄 異物・汚染除去 周辺材料とのエッチング選択性 |
| 対応薬液 | : |
EcoPeeler™ NZMシリーズ
EcoPeeler™ SN-300シリーズ |