□ NbC：残渣除去

対象材料	:	NbC：炭化ニオブ
主な機能	:	エッチング・アッシング残渣、酸化層の除去
付加機能	:	異物・汚染除去 周辺物質とのエッチング選択性 ダメージレス洗浄 アッシング前洗浄 装置・配管のスケール除去
対応薬液	:	EcoPeeler™ KF5000シリーズ   EcoPeeler™ KF5000 Cleanシリーズ   EcoPeeler™ KF6000 Cleanシリーズ   EcoPeeler™ SN-300シリーズ   EcoPeeler™ NZMシリーズ