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| 対象材料 | : | LiTaO3（タンタル酸リチウム） |
| 主な機能 | : |
基板洗浄 研磨残渣除去 異物・残渣除去 |
| 付加機能 | : | ー |
| 対応薬液 | : |
EcoPeeler™ SE-700シリーズ
EcoPeeler™ SE-800シリーズ EcoPeeler™ KF5000 Cleanシリーズ EcoPeeler™ KF6000 Cleanシリーズ |
| 対象材料 | : |
LiTaO3 (タンタル酸リチウム) Al、Al合金、W |
| 主な機能 | : |
Al配線のエッチング・アッシング残渣除去 |
| 付加機能 | : |
Wプラグ抜け防止機能 ダメージレス洗浄 アッシング前洗浄 W埋め込み、CMP、コンタクト洗浄 装置・配管のスケール除去、装置部品の金属汚染除去 |
| 対応薬液 | : |
EcoPeeler™ KF1000シリーズ
EcoPeeler™ KF5000シリーズ |
| 対象材料 | : |
LiTaO3 (タンタル酸リチウム) Al、Al合金、W、Mo、TiN、Ta等 |
| 主な機能 | : |
積層金属配線のエッチング・アッシング残渣除去 金属表面の酸化層の除去 |
| 付加機能 | : |
ガルバニック腐食抑制機能 周辺材料とのエッチング選択性 ダメージレス洗浄 アッシング前洗浄 W埋め込み、CMP、コンタクト洗浄 硫化モリブデンのリフトオフ、剥離 |
| 対応薬液 | : |
EcoPeeler™ SN-300シリーズ
EcoPeeler™ NZMシリーズ |