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| 対象材料 | : | GST (GeSbTe)：ゲルマニウムアンチモンテルル |
| 主な機能 | : | エッチング・アッシング残渣、酸化層の除去 |
| 付加機能 | : | 異物・汚染除去 周辺物質とのエッチング選択性 ダメージレス洗浄 アッシング前洗浄 装置・配管のスケール除去 |
| 対応薬液 | : |
EcoPeeler™ KF6000 Cleanシリーズ
EcoPeeler™ SN-300シリーズ EcoPeeler™ NZMシリーズ |