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Contact plug cleaning
EcoPeeler™ Application
◇ コンタクトプラグ洗浄
◇ Contact plug cleaning
タングステンコンタクト表面の洗浄だけでなく、埋め込み後、CMP後の洗浄に効果的な薬液です。周辺材料にダメージフリーでタングステン酸化層、変質層を短時間で除去できます。
| 除去対象 | : | WOx (WO、WO2、WO3) |
| ダメージレス適応材料 | : | W、WSi、WN、TiN、Ti、Ta、TaN、 High-k、SiO2、TEOS、BPSG、PSG、 SiN、SiON、SiCNなど |
| 主な機能 | : |
タングステン表面の酸化層・変質層の除去 異物・汚染の除去 |
| 付加機能 | : | 周辺材料にダメージレス |
| 対応薬液 | : |
EcoPeeler™ SN-300シリーズ
EcoPeeler™ KF1000シリーズ EcoPeeler™ NZMシリーズ |