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High Selective Etching Solution
EcoPeeler™ Application
◇ 選択エッチング液
◇ 高選択性SiO2エッチング剤
SiN、W、TiN、Siなどに対してダメージなくSiO2を選択的にエッチングする高選択性のエッチング液です。犠牲膜のウェットエッチング用として、周辺材料に対するエッチング選択性を高め、SiO2だけを標的としてエッチングします。
また、独自の表面スイッチング機能により、リンス時に表面保護層を完全に除去する機構を付与することができるため、リンス時のウォーターマークの発生がありません。
| エッチング対象 | : |
SiO2、TEOS、SOG、BPSG、PSG、FSG Ni、Alなど |
| 保護対象 | : | TiN、Ti、Ta、TaN、W、SiN、SiCN、SiON |
| 主な機能 | : |
SiO2を標的としたエッチング SiN、Si、TiN、Wに対するエッチング保護 低表面張力 |
| 付加機能 | : | 保護層の除去 |
| 対応薬液 | : | EcoPeeler™ SN-30シリーズ |