Organic Devices
EcoPeeler™ Application
EcoPeeler™は、酸化剤、有機溶媒を含有しない完全水溶液です。
このため、全般的な有機素材・材料に対する溶解性、酸化性がありません。
EcoPeeler™は、有機デバイスの特有の材料、プロセス、残渣に最適な
パフォーマンスを持っており、デバイス特性にフォーカスしたプロセスを設計することができます。
◇ ダメージレス洗浄
◇ ダメージレス洗浄
EcoPeeler™の最大の特徴である完全水溶液という特徴のもと、酸化剤、有機溶媒を含有しない薬液組成は、有機デバイスの各プロセスにおいて有効なアプリケーションとなります。
特定の標的にのみ作用する除去効果は、特に基材を有機材料とするフレキシブルデバイスにおいて特に有効な効果を発揮します。
また、表面化学に基づいた表面反応制御技術を活用した剥離技術は、EcoPeeler™の最も得意とする基盤技術の一つです。この技術を用いることで周辺材料にダメージなく特定の物質のみを剥離することができます。
| 保護対象 | : |
有機半導体化合物、単分子層半導体、樹脂基板 Al、Al合金、W、W化合物、Ti、Ti化合物など Si、SiC、SiNなどのSi化合物 化合物半導体、強磁性体、高誘電体、圧電体など |
| 主な機能 | : |
特定層の剥離 残渣、変質層の除去 汚染、異物の除去 成膜時の密着性の向上 |
| 付加機能 | : |
表面の改質 表面濡れ性の改善 |
| 対応薬液 | : |
EcoPeeler™ KF5000 シリーズ
EcoPeeler™ KF5000 Cleanシリーズ EcoPeeler™ KF6000 Clean シリーズ EcoPeeler™ SN-300 シリーズ EcoPeeler™ NZM シリーズ |
◇ 基板洗浄処理剤
◇ 基板洗浄処理剤
EcoPeeler™の表面反応制御技術は、無機素材だけでなく、有機素材表面においても効果を発揮します。
特に、基板基質にダメージなく残渣成分を化学的に除去するメカニズムは、薬液単体だけでなく、浄装置の物理的除去機構と組み合わさることで、より効果的な洗浄プロセスとなります。
基板、基材材質のダメージを心配することなく、デバイス特性に影響を及ぼす因子の洗浄のフォーカスできる、これがEcoPeeler™を用いる最大のアドバンテージです。
| 適応材料 | : |
有機材料、フレキシブル基板 Siウェーハ 化合物基板各種 圧電基板各種 光学基板各種 |
| 主な機能 | : |
研磨残渣の除去 表面金属汚染の除去 異物・汚染の除去 |
| 付加機能 | : |
装置内の汚染、スケール、金属不純物の除去 |
| 対応薬液 | : |
EcoPeeler™ KF5000 Cleanシリーズ
EcoPeeler™ KF6000 Cleanシリーズ EcoPeeler™ SE-700シリーズ EcoPeeler™ SE-800シリーズ |
◇ 成膜前処理
◇ 成膜前処理
成膜時の異物、汚染による歩留まりの低下、密着性の不良に対して、EcoPeeler™は非常に大きな効果を発揮します。
無機材料、有機材料ともに表面反応を十分に制御することができるため、異物の除去、金属汚染の除去、表面の変質層の除去、表面の改質といった特定の機能を使用材料にダメージを加えることなく行うことができます。
| 適応材料 | : |
有機材料、フレキシブル基板材料 Siウェーハ、ガラス基板、化合物半導体基板、圧電基板など Si化合物、Ti、Ta、W、Al、Mgなどの金属及びその化合物物 |
| 主な機能 | : |
異物・汚染の除去 変質層の除去 |
| 付加機能 | : |
適応材料に対するダメージレス化 表面の改質 |
| 対応薬液 | : |
EcoPeeler™ KF5000 Cleanシリーズ
EcoPeeler™ KF6000 Cleanシリーズ EcoPeeler™ SN-300シリーズ EcoPeeler™ NZMシリーズ |
◇ 剥離・再生
◇ 剥離・再生
EcoPeeler™のネーミングの由来でもある剥離技術は、EcoPeeler™の最も得意とする基盤技術です。
特に、分子層レベルで用いられる機能性材料については、分子間相互作用と表面反応を効果的に活用して基材にダメージなく剥離することが可能です。
| 剥離対象 | : | 炭素材料 貴金属類のナノ微粒子 有機半導体層 硫化モリブデンなどの化合物半導体層 |
| 主な機能 | : | 対象層の剥離 |
| 付加機能 | : | 周辺材料に対してダメージレス |
| 対応薬液 | : |
EcoPeeler™ KF5000 Cleanシリーズ
EcoPeeler™ KF6000 Clean シリーズ EcoPeeler™ SN-300 シリーズ EcoPeeler™ NZM シリーズ |