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For Wetting Optimization
EcoPeeler™ Application
◇ 濡れ性改善処理
◇ Wetting Optimization Solution
EcoPeeler™ の表面制御技術は、固液界面における分子膜形成技術を重要な基盤技術として効果的に利用しています。
固体表面における分子膜の形成では、自己組織化、静電吸着といった化学吸着、物理吸着の双方を効果的に利用し、分子認識、分子間相互作用等の分子集合体の形成を制御することで、独自の特性を生み出しています。
これらの界面制御技術を応用して、薬液処理後の濡れ性を変質させる技術を提供します。極微細パターンでの水の表面張力による倒壊防止、成膜の密着性の向上など現状の表面をウェット処理と同時に変質させたいときに効果的なアプリケーションとなります。
改質対象材料 | : |
Si、Poly-Si、Doped Poly-Si、α-Si Si2、SiN、SiON Cu、Ag、Pt、Au Al2O3、サファイヤ、ITOなど |
主な機能 | : |
表面の濡れ性の改質 分子膜による保護層の形成 |
対応薬液 | : |
EcoPeeler™ SN-05シリーズ
EcoPeeler™ KF5000 Cleanシリーズ EcoPeeler™ KF6000 Cleanシリーズ EcoPeeler™ KF6000 LSシリーズ EcoPeeler™ NZMシリーズ EcoPeeler™ CLシリーズ |