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WOx Remove
EcoPeeler™ Application
◇ タングステン酸化膜除去
◇ WOx remove
タングステン表面に形成される酸化タングステン層のみを短時間で除去し、タングステン、シリコンその他の周辺材料に対してダメージレスであることが最大の特徴です。コンタクト不良、埋め込み不良等の問題に対して有効なプロセス構築ができます。
| 除去対象 | : | WOx (WO、WO2、WO3) |
| ダメージレス適応材料 | : | W、WSi、WN、TiN、Ti、Ta、TaN、 High-k、SiO2、TEOS、BPSG、PSG、 SiN、SiON、SiCNなど |
| 主な機能 | : | タングステン表面の酸化層の除去 |
| 付加機能 | : | 異物・汚染除去 |
| 対応薬液 | : | EcoPeeler™ SN-300シリーズ |